案例名稱: 某半導(dǎo)體制造企業(yè)超純水制備系統(tǒng)工程
案例背景:
某半導(dǎo)體制造企業(yè)為滿足其生產(chǎn)線對超純水的高品質(zhì)需求,決定投資建設(shè)一套全新的超純水制備系統(tǒng)。該系統(tǒng)需要滿足嚴格的水質(zhì)指標,如電阻率、總有機碳(TOC)、微粒和細菌含量等,以確保半導(dǎo)體器件的制造質(zhì)量和可靠性。
系統(tǒng)設(shè)計:
預(yù)處理系統(tǒng):采用多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器和超濾器等設(shè)備,去除水中的懸浮物、膠體、有機物等雜質(zhì),為后續(xù)的深度處理提供良好的進水條件。
反滲透系統(tǒng):采用高效的反滲透膜組件,通過壓力驅(qū)動使水分子通過膜層,截留水中的溶解性離子和有機物,得到高品質(zhì)的淡水。
EDI系統(tǒng):在反滲透系統(tǒng)之后,設(shè)置EDI(電去離子)系統(tǒng),利用電場和離子交換膜去除水中的剩余離子,進一步提高水質(zhì)的純度。
終端處理系統(tǒng):包括紫外線殺菌器、微孔過濾器等設(shè)備,確保超純水在最終使用前達到無菌、無微粒的狀態(tài)。
控制系統(tǒng):采用PLC(可編程邏輯控制器)和觸摸屏等先進控制設(shè)備,實現(xiàn)系統(tǒng)的自動化運行和遠程監(jiān)控,確保水質(zhì)的穩(wěn)定性和可靠性。
實施過程:
現(xiàn)場勘查與方案設(shè)計:工程師團隊對現(xiàn)場進行勘查,了解水源水質(zhì)和用戶需求,制定詳細的設(shè)計方案。
設(shè)備選型與采購:根據(jù)設(shè)計方案,選擇合適的設(shè)備和材料,進行采購和定制。
系統(tǒng)安裝與調(diào)試:按照設(shè)計方案進行系統(tǒng)的安裝和調(diào)試,確保各設(shè)備之間的連接和配合準確無誤。
系統(tǒng)測試與驗收:在系統(tǒng)安裝完成后,進行全面的測試和驗收,確保系統(tǒng)能夠穩(wěn)定運行并滿足設(shè)計要求。
操作培訓與售后服務(wù):為用戶提供操作培訓和售后服務(wù),確保用戶能夠熟練掌握系統(tǒng)的操作和維護方法。
案例效果:
該超純水制備系統(tǒng)工程投入使用后,成功滿足了半導(dǎo)體制造企業(yè)對超純水的高品質(zhì)需求。水質(zhì)穩(wěn)定可靠,符合設(shè)計要求,得到了用戶的高度認可和好評。同時,該工程也為企業(yè)節(jié)省了大量的用水成本和維護成本,提高了生產(chǎn)效率和經(jīng)濟效益