中水回用到超純水制備的過程涉及多個步驟和設(shè)備，以下是可能需要的主要設(shè)備：
中水回用設(shè)備：這是將中水（即廢水經(jīng)過初步處理后達到一定水質(zhì)標準的水）進行進一步處理，使其滿足特定用水需求（如灌溉、工業(yè)用水等）的設(shè)備。中水回用設(shè)備可能包括物理處理（如格柵、沉淀池）、生物處理（如活性污泥法、生物膜法等）和深度處理（如過濾、消毒等）等部分。
預(yù)處理設(shè)備：在將中水轉(zhuǎn)化為超純水之前，通常需要進行預(yù)處理以去除水中的懸浮物、膠體、有機物等雜質(zhì)。預(yù)處理設(shè)備可能包括多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、超濾器等。
反滲透設(shè)備：反滲透技術(shù)是一種常用的超純水制備技術(shù)，它通過半透膜在壓力作用下只允許水分子通過，而將其他物質(zhì)（如溶解的離子、有機物等）截留在膜的一側(cè)，從而實現(xiàn)水的純化。反滲透設(shè)備是超純水制備的核心設(shè)備之一。
離子交換設(shè)備：離子交換設(shè)備可以進一步去除水中的離子，包括硬度離子（如鈣、鎂）和其他溶解性離子（如鈉、鉀等）。常見的離子交換設(shè)備有陽離子交換器、陰離子交換器和混合床離子交換器等。
電除鹽設(shè)備（EDI）：電除鹽設(shè)備是一種利用電場和離子交換膜將水中的離子去除的設(shè)備，它可以替代傳統(tǒng)的離子交換樹脂，實現(xiàn)連續(xù)、穩(wěn)定的超純水制備。
紫外線殺菌設(shè)備：紫外線殺菌設(shè)備用于去除水中的微生物，保證超純水的生物安全性。
終端過濾器：在超純水制備的最后階段，通常需要使用終端過濾器去除水中的微小顆粒和細菌，確保超純水的質(zhì)量。
